¿Cuál es tecnología de la farfulla del magnetrón?
El magnetrón que farfulla es otra forma de tecnología de la capa de PVD.
Capa del plasma
El magnetrón que farfulla es un proceso de la capa del plasma por el que el material de la farfulla sea expulsado debido al bombardeo de iones a la superficie de la blanco. La cámara de vacío de la máquina de capa de PVD se llena de un gas inerte, tal como argón. Aplicando un alto voltaje, una descarga de resplandor se crea, dando por resultado la aceleración de iones a la superficie de la blanco y a una capa del plasma. Los argón-iones expulsarán los materiales de la farfulla de la superficie de la blanco (farfulla), dando por resultado una capa de capa farfullada en los productos delante de la blanco.
Farfulla reactiva
A menudo un gas adicional tal como nitrógeno o acetileno se utiliza, que reaccionarán con el material expulsado (farfulla reactiva). Una amplia gama de capas farfulladas son realizables con esta técnica de la capa de PVD. La tecnología de la farfulla del magnetrón es muy ventajosa para la capa decretal (los nitruros e.g. del Ti, del Cr, del Zr y del carbono), debido a su naturaleza lisa. La misma ventaja hace la farfulla del magnetrón ampliamente utilizada para la capa tribológica en los mercados automotrices (las combinaciones andvarious e.g. de CrN, del Cr 2N con la capa de DLC - diamante como la capa del carbono).
Campos magnéticos
El magnetrón que farfulla es algo diferente de tecnología general de la farfulla. La diferencia es que la tecnología de la farfulla del magnetrón utiliza campos magnéticos para guardar el plasma delante de la blanco, intensificando el bombardeo de iones. Un plasma altamente densa es el resultado de esta tecnología de la capa de PVD.
Poder de la farfulla del máximo | |
Blanco refrescada indirecta | > 20 vatios/cm2s (DC) |
> 7 vatios/cm2s (RF) | |
Voltaje de la descarga | 100 a 1500 voltios |
Corriente derivada | > 0,05 amperios/cm2s |
Presión de funcionamiento | PA 0,05 a 5 |
Utilización de la blanco | > el 35% |
Blanco | |
Forma | Planar rectangular |
Grueso | 6mm~16m m |
Anchura | 125m m |
Instalación | Interno y externo |
La tecnología de la farfulla del magnetrón se caracteriza cerca: