Máquina de capa de la farfulla de la máquina/del magnetrón de la vacuometalización de PVD, máquina de capa metalúrgica del pvd
Esta máquina es conveniente al sistema de la vacuometalización de la producción industrial. Equipa una fuente grande de la evaporación del ion del arco del llano del tamaño y puede alto rendimiento del deposite difícilmente de película metálica por tecnología de la evaporación del arco, tal como lata, TiCN, AlTiN y toda clase de otra película especial según los requisitos de cliente.
La capa de DLC (carbono tipo diamante) es la combinación del diamante (SP3) y de grafito (SP2). Las propiedades físicas y químicas de DLC son intermedias a la del diamante y del grafito
Especificaciones
MODELO | RTAS1000 | |||||||
TECNOLOGÍA | galjanoplastia + magnetrón del arco que farfulla + fuente de ion | |||||||
MATERIAL DE LA CÁMARA | Acero inoxidable (S304) | |||||||
TAMAÑO DE LA CÁMARA | Φ1000*1000mm (h) | |||||||
TIPO DE LA CÁMARA | Cámara del octaedro regular, 2 puertas | |||||||
ESTANTE DE LA ROTACIÓN Y SISTEMA DE LA PLANTILLA | 6 satélite (de 8), peso máximo: 400kgs | |||||||
FUENTES DE ALIMENTACIÓN | Qty. de la farfulla: Kilovatio 2*24 en diagonal de fuente de alimentación: la fuente de alimentación de 1*24W AE para el alimentación de la fuente de ion de la opción fuente 2 sistemas, fuente de alimentación de los AE para la opción | |||||||
MATERIAL DE LA DEPOSICIÓN | Ti, Zr, TiAl, Cu, Au | |||||||
FUENTE DE LA DEPOSICIÓN |
cátodos de la farfulla de 2 pares (4 pedazos) + 6 arcos que cubren área: Dia800mm*H550mm; |
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CONTROL | PLC (regulador programable de la lógica) + pantalla táctil (modelos de operación semi-autos de manual+ auto+) | |||||||
SISTEMA DE BOMBA | Bomba de paleta rotatoria: SV300B - 1 sistema (Leybold) | |||||||
Bomba de las raíces: WAU1001 - 1 sistema (Leybold) | ||||||||
Sostener la bomba: D60C-1set- (Leybold) | ||||||||
Bomba molecular de la suspensión del rotor de Magnetric: MAG2200 - 2 sistemas (Leybold) | ||||||||
REGULADOR DEL FLUJO TOTAL DEL GAS | 3 canales, hechos en América (marca de MKS) | |||||||
INDICADOR DE VACÍO | Modelo: ZDF-X-LE, hecho en China | |||||||
Fuente de ion linear | 2 pedazos que pretrataban, limpieza del plasma + ayudaron a la deposición | |||||||
SISTEMA DE SEGURIDAD | Dispositivos de seguridad numerosos para proteger operadores y el equipo | |||||||
CALEFACCIÓN | Calentadores: 20KW. Temporeros máximos.: 400℃ | |||||||
ENFRIAMIENTO | Refrigerador industrial (agua fría) | |||||||
MÁXIMO DEL PODER. | 100KW (aproximadamente) | |||||||
CONSUMO DE ENERGÍA MEDIA | 45 kilovatios (aproximadamente) | |||||||
PESO BRUTO | T (aproximadamente) | |||||||
IMPRESIÓN DEL PIE | (L*W*H) 4000*4000 *4000 MILÍMETRO | |||||||
PODER ELÉCTRICO | CA 380V/3 phases/50HZ |